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南科Fab 18廠

氣體污染,波及5奈米產能?台積:不影響營運

台積電29日晚間傳出南科Fab 18廠5奈米製程,因部分廠商供應的氣體有污染,使產能部分停擺。不過台積電30日對此回應指出,南科部分廠房來自廠商供應的部分氣體疑似受到污染,已即時調度其他氣體供應,此事件目前已知對營運並無造成顯著影響,後續將持續追蹤。