台積電獲AWS白金認證

台積電(2330)在最新一期企業社會責任電子報揭露在環保節能上的重要進展,台積電獲得可持續水管理標準(AWS)白金認證,不僅是全球第一家獲認證的半導體企業,更締造史上最高分評鑑紀錄及全球最高分紀錄。

同時,台積電首創業界晶圓清洗機台熱水循環系統並已在Fab 18廠使用,簡單改造既有熱水機台,有效減少熱水浪費,並省電1,400萬度。

為實踐綠色製造,並持續強化用水效率,台積電引進全球唯一可持續水管理標準(AWS Standard),2019年年初以Fab 6及Fab 14第五期、第六期、第七期廠房為初期示範廠區,2019年12月獲AWS正式授證,成為全球第一家AWS白金級認證的半導體企業。台積電114分的評鑑結果,不僅超越白金級的80分認證門檻,亦締創史上最高分評鑑紀錄。

台積電建立縝密且系統化的可持續水管理組織,在驗證過程中,以整體流域為檢驗範圍的AWS團隊,對台積電領先業界推出液中求銅再生系統、打造螢火蟲高科技綠色廠房、規劃民生汙水回收使用於廠區,甚至攜手外部單位開發跨產業的綠能智慧水閘門,協助提升國內農業灌溉效率等,皆給予高度肯定及讚賞。

台積電2019年領先業界打造「晶圓清洗機台熱水循環系統」,透過回收未經使用的熱水循環利用機制,成功減少80%的熱水浪費,截至2019年11月已完成29組熱水設備改良,共省下1,400萬度電。

供應晶圓清洗機台熱水的熱水設備,以往為避免管線內形成死水、造成雜質汙染,在機台未運作期間,仍須不間斷的輸出熱水以確保管線通暢。為有效控管熱水設備用電量,台積電營運技術委員會與機台承攬商攜手研發改良方案,利用「熱水循環」的概念,在原供水管路加裝一道儲熱水槽,連接機台端未經使用過的熱水排放管路,有效回收未經使用過的熱水。

現在改良後的熱水設備,將優先使用儲熱水槽內的回收熱水進行加熱,成功避免未經使用的熱水直接廢棄的能源浪費。當儲熱水槽水量不足時,才由原供水管線進水,與回收熱水混和後加熱使用;與回收熱水混和後的水溫亦較初始水溫高,減少加熱時能量消耗,加上額外增設的回收管線保溫機制,雙管齊下讓回收過程的溫差降至最低,達成節能效益。

改良的熱水設備,經台積電研發組織驗證後,已優先在Fab 18使用,未來將由營運技術委員會全面推廣至Fab 12、Fab 14、Fab 15等12吋晶圓廠區。經過使用分析,每台改良的溫水設備依製程使用條件不同,可以節省約30%的耗能,自2019年1月起至11月,已節省1,400萬度電,預計2025年以前將可省電1億度,持續邁向台積電2025年累積節電量28億度的永續目標。

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