中芯遭斷頭 荷廠爆能賣EUV給陸 竟暗藏魔鬼

儘管大陸晶圓代工龍頭中芯國際遭美國制裁,不過中芯設備供應商、荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)表示,不需獲得美國出口許可,就可供應深紫外光刻機(DUV)給大陸,但有一秘密沒說,ASML並未提到,7奈米以下、最先進極紫外光刻機(EUV)出口大陸,是否需要美國批准。

隨著製程不斷推進,中芯目前EUV設備已無法滿足精度的要求,中芯於2018年向ASML採購高階製程所需EUV機台,但受到美國阻攔,一直拿不到貨,導致中芯技術發展被卡在7奈米。

財新報導,ASML執行長Peter Wennink表示,該公司不需獲得美國許可,就可以從荷蘭出貨DUV機台給中國大陸客戶,至於從ASML美國出貨,或直接到受法規影響的客戶,仍需獲得許可證。

但Wennink並未提及,7奈米以下、最先進的EUV極紫外光刻機出口大陸,是否需要獲得美國允許。

ASML日前公布第3季營收高達39.58億歐元,其中21%來自大陸,預計今年該公司對大陸的銷售額將續增、超過10億歐元。ASML目前在大陸有四、五個主要的大客戶,今年銷售多數來自邏輯晶片代工業務,明年存儲業務收入會更高。

(中時新聞網 吳美觀)


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