愛德萬測試為光罩市場發表測試產能倍增的新E3650 MVM-SEM

半導體測試設備供應商龍頭,愛德萬測試股份有限公司 (東京證券交易所股票代碼: 6857),發表了最新的MASK MVM-SEM (多重視角掃描式電子顯微鏡),型號E3650,同樣使用愛德萬特有的電子束掃描科技,這台最新的儀器可測量光罩上最精細的圖案尺寸,同時兼具更高的精準度與穩定度。

E3650是該公司E3600系列的新生力軍,過去E3600系列也廣受光罩半導體市場的歡迎。這次的新作則擁有比現有型號E3640多一倍的測試產能,E3650產能較高的特性,能應付較複雜圖案所需要的大量量測,以及因為多重曝光而增加的光罩數量。 此外在先進光罩上,此次的新型號在量測EUV光罩、以及奈米壓印應用的主模板上也擁有絕佳表現,E3650將會於2018年12月12號至14號,在日本東京國際展覽中心所舉行的國際半導體展出。