台灣精品獎加冕 -全鑫精密液靜壓轉台平面磨床  SEMICON Taiwan亮相

全鑫精密-高精密液靜壓磨床專業製造商,擁有獨家液靜壓軸承技術,先進開發之液靜壓軸承主軸、液靜壓旋轉工作臺及液靜壓滑軌模組,產品皆搭載液靜壓軸承系統,提供高精度、高品質、低耗損、綠環保的精密加工機。

先前推出全亞洲唯一「寬砂輪液靜壓外圓磨床」CTS-100,最大特點為可承載300寬砂輪配合圖形對話程式可完成15段不同階差的成形研磨,該機也獲2020台灣精品獎殊榮。

全鑫精密副總經理蔡靜儀表示,全鑫擁有強大的研發能量,開發腳步不會因此而停滯;為提供客戶更多的高精密磨床選擇,全鑫精密於2019年推出的全液靜壓臥式轉台平面磨床(GRC系列),是專為加工精密硬脆材質而生的高精密磨床,以半導體產業為例,在晶圓周邊產品研磨應用如陶瓷載具、矽盤、石英等,全鑫研製的轉台磨床相對比傳統往復式磨床效率高達2倍以上,且靜壓主軸及轉台具超高剛性、高吸振能力以及無磨擦黏滯等特性,可承受偏心與高離心力加工,主軸及工作台旋轉精度皆小於1µm,轉台負重達10,000KG,同時也具備了高穩定性以及高壽命的特性,可以大幅減少維修成本以及提高機台運作穩定性。

GRC設計時在外觀上採用圓柱型板金設計,為提供油霧回收機使用時的最佳吸取效能,以達到綠能環保。在機台的軟體採用Mitsubishi及Fanuc觸控式面板及人機圖形對話式介面,在軟體開發上更符合視覺式反應的簡易操作,可有效加快操作者熟悉機台的速度,擺脫傳統調整轉台機構才能達到研磨中凸中凹的效果。在軟體的精算補正與線軌微進給精度的規劃,可以直接在程式輸入達成研磨後的需求,此功能在於相異材質結合的工件研磨或半導體業的陶瓷載具研磨上有很好的輔助成效且大大減少時間成本。



全鑫精密研製推出全液靜壓臥式轉台平面磨床(GRC系列)。圖/全鑫精密提供

全鑫GRC除了克服傳動件主軸與轉台的振動外,底座與動柱的變形也是一大關鍵,GRC採用門型結構設計,優點在於結構剛性比單柱式佳,主軸頭採用三角大跨距設計,抗下壓研磨反作用力極佳,穩定性相對提升,與台灣現有轉台單薄或細長之主軸頭設計有很大區隔化。

另外,最大優勢在於Y軸軌面與工作台面等高設計,更提升前後運動精度,降低傾斜或變形的缺點;整機採人體工學進行規劃設計,提升操作人員作業品質。簡易的檯面角度調整機構,可進行快速調整。為增加軌道使用壽命,在軌道位置設計置於切削汙染區之外,提升優異的防護與清潔效率。整機採用鎧甲式護蓋,提升切削液與安全防護等級,改善升縮捲簾護罩易破損且無剛性防護能力的缺點。Y/Z軸採用直結式驅動設計,減少組合公差並提升精度控制能力。

全鑫精密將於此次2020國際半導體展I2230展出GRC系列產品,歡迎業界先進蒞臨參觀。洽詢電話:04-23591486, 網址http://www.grintimate.com/