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環保先鋒,莘湜科技引進CSK電漿式廢氣處理設備

2018/06/26 | 科技走廊 | 傅秉祥/審核

 【記者謝易晏/新竹報導】位於竹北台元科技園區的莘湜科技(CSKT),是在2010年與位於韓國的CSK(德/韓/日合資公司)合作,在台成立之合資公司。引進當時尚為新穎的電漿式廢氣處理設備,正好符合半導體龍頭大廠積極導入相對高效率、低耗能且具高度安全性環保設備的目標與要求,因此獲得台積電各廠區的採用。其電漿廢氣處理設備的安裝數量為全台之最。

莘湜科技員工數量約為30名,平均年營收為4億下上台幣。瑞典商Atlas Copco集團積極拓展於半導體產業的版圖,看好CSK廢氣處理設備於環保領域的發展潛力,於2016年正式併購CSK為旗下的環保設備的主力軍。莘湜科技(CSKT)也於2017 100% 併入Atlas Copco集團。

莘湜科技李青香總監受訪時表示:「長期以來,面臨安全/環保法規更嚴格, 先進製程氣體複雜多變, 客戶預期能源使用效率不斷提高等來自各國設備商高度競爭的挑戰下, 極力於開發更低耗能,更高處理效能的高端環保設備,從早期電熱式到燃燒式到現在熱門的電漿廢氣處理設備。電漿式能夠以較低的能耗去處理半導體製程中產生之全氟化合物(Per- and polyfluorinated chemicals, PFCs),使用較小能量提供更高的除廢效率,相對地大幅減低CO2的排放量,對環境保護更加有利。我們很慶幸半導體產業對於環保及空汙減廢的意識領先且積極運行。在全球暖化的今天,環保除了是企業的責任、政府要提供有完善的法規去監督、設備供應商也要提供完善的環保方案,三面一體缺一不可,環保是有價的,這個價值需要企業,政府與廠商合力去捍衛。 

莘湜科技除了提供優質高效能的廢氣處理產品之外,另一個強項是能夠提供給客戶量身訂做的解決方案,連使用及後續維護的成本也都事先為客戶考量規畫。以現有客戶(美商)台灣通用器材位於新店區30年6吋晶圓廠為例,美國總公司要求該廠區必須符合集團一致性的PFCs減廢標準,從2012年起陸續採用的電漿式廢氣處理設備方案。台灣半導體產業自主性力行與國際同步的環保減廢的標準與規範,不僅為自己贏來了訂單也為台灣以及全球環境盡一份心力。政府更應與時俱進為半導體重鎮的台灣制定明確的環保法規,讓企業可以依法遵循。

 圖說:莘湜科技李青香總監表示「我們必須不斷進步,才能夠保持領先」。(圖/謝易晏)97438ea1-6cd3-4919-a753-b777836993fb.jpg