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亞氨首創純氨回用系統 第2季商轉

2018/02/22 | 科技走廊 | 龍益雲/新竹報導

e7d4fb5c-4804-4dfc-b432-63297b6b2bb7.亞氨科技總經理蕭安泰f_2018資料照片-01.png

亞氨科技致力研發半導體氨氣、氨水回用領域,兩年內已取得兩岸5項氨水提濃發明、6項新式分解、回用專利,全球首套純氨回用系統即將在第2季在隆達電子商轉,亞氨總經理蕭安泰表示,純氨回用技術即將開啟半導體循環經濟的新應用。

蕭安泰強調,循環經濟產業是政府積極支持的重點產業之一,亞氨的氨氣回用技術除了可大幅降低使用純氨廠商購氨成本,也可有效解決氨氮排放對環境所造成的環保問題。

蕭安泰表示,亞氨所開發出的氨氣提濃回用技術是目前全球唯一採用分子精餾法,最大特色在於設備成本低廉、運轉能耗最低,一舉達到最經濟效益且完全符合循環經濟理念的創新技術,初估半導體晶圓廠的氨水回用商機至少1年100億元。

亞氨繼2016年第3季與發光二極體(LED)磊晶廠隆達簽訂氨氣回用系統合約,也陸續接獲大陸數家LED磊晶廠主動引進,其中今年第2季就會有1家中型LED磊晶廠導入並進入商轉。

主導開發相關技術的亞氨董事長劉定忠博士已研究氨氣領域已逾10年,曾於2012年在晶元光電及隆達建置廢氨回收設備,成功將6%濃度的廢氨水提純至有商業價值的25%氨水,2013年又將隆達提供的25%氨水提純至6N5等級純氨,並供隆達線上測試驗證成功。

蕭 安泰指出,LED磊晶廠如晶電、隆達及大陸三安等,生產晶片是使用有機金屬化學氣相沈積法(MOCVD),製程藉通入大量氨氣、氫氣形成氮化鎵結晶,通入 的氨氣經使用後,會排出超過85%的氨氣,若能有效將廢氨氣提純至純氨氣,不僅可大幅降低廠商購買純氨成本,更可以減少氨氣溢散所衍生的空氣汙染。目前 6N5等級的純氨,國內主要供應廠商為聯華氣體、巴斯夫、住金化學及京和氣體等,國外則有Linde、Air liqid、Praxair及Air Product等大廠,亞氨以廢氨水製造6N5等級純氨的成本低於每噸1.2萬,市場則在每噸10萬元。

劉定忠更透露亞氨已成功開發低濃度的提濃技術並取得專利,也就是氨濃度在1,000PPM以下,亞氨仍可經專利技術純化至純氨,未來將推展到晶圓代工產業,協助晶圓代工廠擴大社會綠色成果。